Comparison of physicochemical properties of nitride films produced by various reactive sputtering methods / Vasilenko, N. A., Vasilenko, A. O. (2013)
Ukrainian

web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000450102
  Journal of mechanical engineering  Б - 2020  /     Issue (2013, Т. 16, № 5)

Василенко Н. А., Василенко А. О.
Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления

Бібліографічний опис:
Василенко Н. А., Василенко А. О. Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления. Проблемы машиностроения. 2013. Т. 16, № 5. С. 55-58. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000450102

English  Journal of mechanical engineering   /     Issue (2013, 16 (5))

Vasilenko N. A., Vasilenko A. O.
Comparison of physicochemical properties of nitride films produced by various reactive sputtering methods

Cite:
Vasilenko, N. A., Vasilenko, A. O. (2013). Comparison of physicochemical properties of nitride films produced by various reactive sputtering methods. Journal of mechanical engineering, 16 (5), 55-58. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000450102 [In Russian].

 

Institute of Information Technologies of VNLU

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Ukraine, 03039, Kyiv, Holosiivskyi Ave, 3, room 209