Low temperature modification of copper layer under the influence of atomic hydrogen / Zhavzharov, E. L., Matjushin, V. M. (2006)
Ukrainian

web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000455198
  Technology and design in electronic equipment   Б - 2020  /     Issue (2006, № 1)

Жавжаров Е. Л., Матюшин В. М.
Низкотемпературная модификация медных пленок под воздействием атомарного водорода

Бібліографічний опис:
Жавжаров Е. Л., Матюшин В. М. Низкотемпературная модификация медных пленок под воздействием атомарного водорода. Технология и конструирование в электронной аппаратуре. 2006. № 1. С. 50-53. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000455198

English  Technology and design in electronic equipment   /     Issue (2006, 1)

Zhavzharov E. L., Matjushin V. M.
Low temperature modification of copper layer under the influence of atomic hydrogen

Cite:
Zhavzharov, E. L., Matjushin, V. M. (2006). Low temperature modification of copper layer under the influence of atomic hydrogen. Technology and design in electronic equipment, 1, 50-53. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000455198 [In Russian].

 

Institute of Information Technologies of VNLU

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Ukraine, 03039, Kyiv, Holosiivskyi Ave, 3, room 209