Study of probe methods for fabrication of units for nanoelectronic devices and diagnostic technique using electrostatic force microscopy / Khodakovskij, N. I., Larkin, S. Ju., Galstjan, G. G. (2011)
web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000473640
Nanosystems, nanomaterials, nanotechnologies   А - 2020 /  Issue (2011, Т. 9, Вип. 3)
Ходаковский Н. И., Ларкин С. Ю., Галстян Г. Г.
Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии
Бібліографічний опис:
Ходаковский Н. И., Ларкин С. Ю., Галстян Г. Г. Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии. Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. 2011. Т. 9, Вип. 3. С. 535-542. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000473640 |  Nanosystems, nanomaterials, nanotechnologies / Issue (2011, 9 (3))
Khodakovskij N. I., Larkin S. Ju., Galstjan G. G.
Study of probe methods for fabrication of units for nanoelectronic devices and diagnostic technique using electrostatic force microscopy
Cite:
Khodakovskij, N. I., Larkin, S. Ju., Galstjan, G. G. (2011). Study of probe methods for fabrication of units for nanoelectronic devices and diagnostic technique using electrostatic force microscopy. Nanosystems, nanomaterials, nanotechnologies, 9 (3), 535-542. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000473640 [In Russian]. | |
|
|
PDF