Fabrication of nanosize LiPON films by means of high-frequency magnetron sputtering / Vjunov, O. I., Kovalenko, L. L., Belous, A. G., Bohnke, O., Bohnke, C. (2014)
web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000476018
Nanosystems, nanomaterials, nanotechnologies   А - 2020 /  Issue (2014, Т. 12, Вип. 2)
Вьюнов О. И., Коваленко Л. Л., Белоус А. Г., Bohnke O., Bohnke C.
Получение наноразмерных плёнок LiPON высокочастотным магнетронным напылением
Бібліографічний опис:
Вьюнов О. И., Коваленко Л. Л., Белоус А. Г., Bohnke O., Bohnke C. Получение наноразмерных плёнок LiPON высокочастотным магнетронным напылением. Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. 2014. Т. 12, Вип. 2. С. 303-311. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000476018 |  Nanosystems, nanomaterials, nanotechnologies / Issue (2014, 12 (2))
Vjunov O. I., Kovalenko L. L., Belous A. G., Bohnke O., Bohnke C.
Fabrication of nanosize LiPON films by means of high-frequency magnetron sputtering
Cite:
Vjunov, O. I., Kovalenko, L. L., Belous, A. G., Bohnke, O., Bohnke, C. (2014). Fabrication of nanosize LiPON films by means of high-frequency magnetron sputtering. Nanosystems, nanomaterials, nanotechnologies, 12 (2), 303-311. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000476018 [In Russian]. | |
|
|
PDF