Polishing of opto-electronic equipment elements from single-crystal silicon carbide / Filatov, Ju. D., Vetrov, A. G., Sidorko, V. I., Filatov, A. Ju., Kovalev, S. V., Kurilovich, V. D., Danilchenko, M. A., Prikhna, T. A., Borimskij, A. I., Kutsaj, A. M., Poltoratskij, V. G. (2015)
web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000694060
Superhard Materials   А - 2019 /  Issue (2015, № 1)
Филатов Ю. Д., Ветров А. Г., Сидорко В. И., Филатов А. Ю., Ковалев С. В., Курилович В. Д., Данильченко М. А., Прихна Т. А., Боримский А. И., Куцай А. М., Полторацкий В. Г.
Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния
Бібліографічний опис:
Филатов Ю. Д., Ветров А. Г., Сидорко В. И., Филатов А. Ю., Ковалев С. В., Курилович В. Д., Данильченко М. А., Прихна Т. А., Боримский А. И., Куцай А. М., Полторацкий В. Г. Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния. Сверхтвердые материалы. 2015. № 1. С. 63-74. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000694060 |  Superhard Materials / Issue (2015, 1)
Filatov Ju. D., Vetrov A. G., Sidorko V. I., Filatov A. Ju., Kovalev S. V., Kurilovich V. D., Danilchenko M. A., Prikhna T. A., Borimskij A. I., Kutsaj A. M., Poltoratskij V. G.
Polishing of opto-electronic equipment elements from single-crystal silicon carbide
Cite:
Filatov, Ju. D., Vetrov, A. G., Sidorko, V. I., Filatov, A. Ju., Kovalev, S. V., Kurilovich, V. D., Danilchenko, M. A., Prikhna, T. A., Borimskij, A. I., Kutsaj, A. M., Poltoratskij, V. G. (2015). Polishing of opto-electronic equipment elements from single-crystal silicon carbide. Superhard Materials, 1, 63-74. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000694060 [In Russian]. | |
|
|
PDF