Stimulation of the diamond nucleation on silicon substrates with a layer of polymeric precursor in deposition of diamond films by microwave plasma / Sedov, V. S., Ralchenko, V. G., Khomich, A. A., Sizov, A. I., Zvukova, T. M., Konov, V. I. (2012)
web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000696639
Superhard Materials   А - 2019 /  Issue (2012, № 1)
Седов В. С., Ральченко В. Г., Хомич А. А., Сизов А. И., Звукова Т. М., Конов В. И.
Стимулирование зарождения алмаза на подложках кремния со слоем полимерного прекурсора при осаждении алмазных пленок в СВЧ-плазме
Бібліографічний опис:
Седов В. С., Ральченко В. Г., Хомич А. А., Сизов А. И., Звукова Т. М., Конов В. И. Стимулирование зарождения алмаза на подложках кремния со слоем полимерного прекурсора при осаждении алмазных пленок в СВЧ-плазме. Сверхтвердые материалы. 2012. № 1. С. 49-57. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000696639 |  Superhard Materials / Issue (2012, 1)
Sedov V. S., Ralchenko V. G., Khomich A. A., Sizov A. I., Zvukova T. M., Konov V. I.
Stimulation of the diamond nucleation on silicon substrates with a layer of polymeric precursor in deposition of diamond films by microwave plasma
Cite:
Sedov, V. S., Ralchenko, V. G., Khomich, A. A., Sizov, A. I., Zvukova, T. M., Konov, V. I. (2012). Stimulation of the diamond nucleation on silicon substrates with a layer of polymeric precursor in deposition of diamond films by microwave plasma. Superhard Materials, 1, 49-57. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000696639 [In Russian]. | |
|
|
PDF