Precision shaping flat surfaces details of optics and microelectronics when polishing / Filatov, Ju. D., Sidorko, V. I., Kovalev, S. V., Kovalev, V. A., Jurchishin, O. Ja., Vetrov, A. G. (2016)
web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000713088
Tooling materials science Б - 2020 /  Issue (2016, Вып. 19)
Филатов Ю. Д., Сидорко В. И., Ковалев С. В., Ковалев В. А., Юрчишин О. Я., Ветров А. Г.
Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании
Бібліографічний опис:
Филатов Ю. Д., Сидорко В. И., Ковалев С. В., Ковалев В. А., Юрчишин О. Я., Ветров А. Г. Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании. Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент - техника и технология его изготовления и применения. 2016. Вып. 19. С. 465-473. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000713088 |  Tooling materials science / Issue (2016, 19)
Filatov Ju. D., Sidorko V. I., Kovalev S. V., Kovalev V. A., Jurchishin O. Ja., Vetrov A. G.
Precision shaping flat surfaces details of optics and microelectronics when polishing
Cite:
Filatov, Ju. D., Sidorko, V. I., Kovalev, S. V., Kovalev, V. A., Jurchishin, O. Ja., Vetrov, A. G. (2016). Precision shaping flat surfaces details of optics and microelectronics when polishing. Tooling materials science, 19, 465-473. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000713088 [In Russian]. | |
|
|
PDF