Distribution of concentration of impurities and "impurity–vacancy" complexes beyond the range of ions during implantation / Suhakov, V. Y., Cherniuk, A. A. (2017)
Ukrainian

web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000745612
  Nuclear physics and atomic energy       А - 2018  /     Issue (2017, Т. 18, № 1)

Сугаков В. Й., Чернюк А. А.
Розподіл концентрації домішок та їхніх комплексів із вакансіями за межами пробігу іонів при імплантації

Бібліографічний опис:
Сугаков В. Й., Чернюк А. А. Розподіл концентрації домішок та їхніх комплексів із вакансіями за межами пробігу іонів при імплантації. Ядерна фізика та енергетика. 2017. Т. 18, № 1. С. 43-47. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000745612

English  Nuclear physics and atomic energy   /     Issue (2017, 18 (1))

Suhakov V. Y., Cherniuk A. A.
Distribution of concentration of impurities and "impurity–vacancy" complexes beyond the range of ions during implantation

Cite:
Suhakov, V. Y., Cherniuk, A. A. (2017). Distribution of concentration of impurities and "impurity–vacancy" complexes beyond the range of ions during implantation. Nuclear physics and atomic energy, 18 (1), 43-47. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000745612 [In Ukrainian].

 

Institute of Information Technologies of VNLU

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Ukraine, 03039, Kyiv, Holosiivskyi Ave, 3, room 209