Formation of neutral atomic beam for dry etching and study its charachteristics / Voznyj, A. V., Jam, Dzh. Ju., Kropotov, A. Ju., Farenik, V. I. (2006)
Ukrainian

web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000855337
  Physical surface engineering   /     Issue (2006, Т. 4, № 1-2)

Возный А. В., Ям Дж. Ю., Кропотов А. Ю., Фареник В. И.
Формирование пучка нейтральных атомов для сухого травления и исследование его характеристик

Бібліографічний опис:
Возный А. В., Ям Дж. Ю., Кропотов А. Ю., Фареник В. И. Формирование пучка нейтральных атомов для сухого травления и исследование его характеристик. Фізична інженерія поверхні. 2006. Т. 4, № 1-2. С. 97-103. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000855337

English  Physical surface engineering   /     Issue (2006, 4 (1-2))

Voznyj A. V., Jam Dzh. Ju., Kropotov A. Ju., Farenik V. I.
Formation of neutral atomic beam for dry etching and study its charachteristics

Cite:
Voznyj, A. V., Jam, Dzh. Ju., Kropotov, A. Ju., Farenik, V. I. (2006). Formation of neutral atomic beam for dry etching and study its charachteristics. Physical surface engineering, 4 (1-2), 97-103. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000855337 [In Russian].

 

Institute of Information Technologies of VNLU

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Ukraine, 03039, Kyiv, Holosiivskyi Ave, 3, room 209