Structural studies of zinc oxide and aluminum nitride films obtained by CVD and magnetron sputtering methods / Pogrebnjak, A. D., Mukhammed, A. K. M., Ivashchenko, M. N., Opanasjuk, N. N., Sudzhanskaja, I. V. (2012)
web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000906915
Physical surface engineering /  Issue (2012, Т. 10, № 2)
Погребняк А. Д., Мухаммед А. К. М., Иващенко М. Н., Опанасюк Н. Н., Суджанская И. В.
Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления
Бібліографічний опис:
Погребняк А. Д., Мухаммед А. К. М., Иващенко М. Н., Опанасюк Н. Н., Суджанская И. В. Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления. Фізична інженерія поверхні. 2012. Т. 10, № 2. С. 177-182. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000906915 |  Physical surface engineering / Issue (2012, 10 (2))
Pogrebnjak A. D., Mukhammed A. K. M., Ivashchenko M. N., Opanasjuk N. N., Sudzhanskaja I. V.
Structural studies of zinc oxide and aluminum nitride films obtained by CVD and magnetron sputtering methods
Cite:
Pogrebnjak, A. D., Mukhammed, A. K. M., Ivashchenko, M. N., Opanasjuk, N. N., Sudzhanskaja, I. V. (2012). Structural studies of zinc oxide and aluminum nitride films obtained by CVD and magnetron sputtering methods. Physical surface engineering, 10 (2), 177-182. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000906915 [In Russian]. | |
|
|
PDF