Interaction between debris particles and polishing powder wear particles in polishing optoelectronic components / Filatov, Ju. D. (2018)
Ukrainian

web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000940299
  Superhard Materials      А - 2019  /     Issue (2018, № 4)

Филатов Ю. Д.
Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов

Бібліографічний опис:
Филатов Ю. Д.  Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов. Сверхтвердые материалы. 2018. № 4. С. 71-81. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000940299

English  Superhard Materials   /     Issue (2018, 4)

Filatov Ju. D.
Interaction between debris particles and polishing powder wear particles in polishing optoelectronic components

Cite:
Filatov, Ju. D. (2018). Interaction between debris particles and polishing powder wear particles in polishing optoelectronic components. Superhard Materials, 4, 71-81. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000940299 [In Russian].

 

Institute of Information Technologies of VNLU

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Ukraine, 03039, Kyiv, Holosiivskyi Ave, 3, room 209