The sputtering of silicon and carbon targets by accelerated ion by the fullerene C60 / Maleev, M. V., Zubarev, E. N., Pukha, V. E., Drozdov, A. N., Vus, A. S., Devizenko, A. Ju. (2015)
web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001045140
Physical surface engineering /  Issue (2015, Т. 13, № 1)
Малеев М. В., Зубарев Е. Н., Пуха В. Е., Дроздов А. Н., Вус А. С., Девизенко А. Ю.
Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C60
Бібліографічний опис:
Малеев М. В., Зубарев Е. Н., Пуха В. Е., Дроздов А. Н., Вус А. С., Девизенко А. Ю. Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C60. Фізична інженерія поверхні. 2015. Т. 13, № 1. С. 91-104. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001045140 |  Physical surface engineering / Issue (2015, 13 (1))
Maleev M. V., Zubarev E. N., Pukha V. E., Drozdov A. N., Vus A. S., Devizenko A. Ju.
The sputtering of silicon and carbon targets by accelerated ion by the fullerene C60
Cite:
Maleev, M. V., Zubarev, E. N., Pukha, V. E., Drozdov, A. N., Vus, A. S., Devizenko, A. Ju. (2015). The sputtering of silicon and carbon targets by accelerated ion by the fullerene C60. Physical surface engineering, 13 (1), 91-104. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001045140 [In Russian]. | |
|
|
PDF