Hybrid systems for electron beam evaporation and ion sputtering / Kuzmichev, A. I., Ustinov, A. I., Rudenko, A. E., Drozd, I. M. (2019)
Ukrainian

web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001079866
  Electrometallurgy Today  Б - 2020  /     Issue (2019, № 4)

Кузьмичев А. И., Устинов А. И., Руденко А. Э., Дрозд И. М.
Гибридные системы для электронно-лучевого испарения и ионного распыления

Бібліографічний опис:
Кузьмичев А. И., Устинов А. И., Руденко А. Э., Дрозд И. М. Гибридные системы для электронно-лучевого испарения и ионного распыления. Сучасна електрометалургія. 2019. № 4. С. 18-25. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001079866

English  Electrometallurgy Today   /     Issue (2019, 4)

Kuzmichev A. I., Ustinov A. I., Rudenko A. E., Drozd I. M.
Hybrid systems for electron beam evaporation and ion sputtering

Cite:
Kuzmichev, A. I., Ustinov, A. I., Rudenko, A. E., Drozd, I. M. (2019). Hybrid systems for electron beam evaporation and ion sputtering. Electrometallurgy Today, 4, 18-25. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001079866 [In Russian].

 

Institute of Information Technologies of VNLU

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Ukraine, 03039, Kyiv, Holosiivskyi Ave, 3, room 209