Influence of parameters of magnetron sputtering process on phase composition and structure of carbon nitride coatings / Borysov, Yu. S., Volos, O. V., Vihilianska, N. V., Zadoia, V. H., Strelchuk, V. V. (2022)
Ukrainian

web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001369183
  Automatic Welding  Б - 2020  /     Issue (2022, № 9)

Борисов Ю. С., Волос О. В., Вігілянська Н. В., Задоя В. Г., Стрельчук В. В.
Вплив параметрів процесу магнетронного напилення на фазовий склад і структуру покриттів з нітриду вуглецю

Бібліографічний опис:
Борисов Ю. С., Волос О. В., Вігілянська Н. В., Задоя В. Г., Стрельчук В. В. Вплив параметрів процесу магнетронного напилення на фазовий склад і структуру покриттів з нітриду вуглецю. Автоматичне зварювання. 2022. № 9. С. 16-20. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001369183

English  Automatic Welding   /     Issue (2022, 9)

Borysov Yu. S., Volos O. V., Vihilianska N. V., Zadoia V. H., Strelchuk V. V.
Influence of parameters of magnetron sputtering process on phase composition and structure of carbon nitride coatings

Cite:
Borysov, Yu. S., Volos, O. V., Vihilianska, N. V., Zadoia, V. H., Strelchuk, V. V. (2022). Influence of parameters of magnetron sputtering process on phase composition and structure of carbon nitride coatings. Automatic Welding, 9, 16-20. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001369183 [In Ukrainian].

 

Institute of Information Technologies of VNLU

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Ukraine, 03039, Kyiv, Holosiivskyi Ave, 3, room 209