Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании / Филатов Ю. Д., Сидорко В. И., Ковалев С. В., Ветров А. Г. (2017)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000850127
  Сверхтвердые материалы      А - 2019  /     Випуск (2017, № 2)

Филатов Ю. Д., Сидорко В. И., Ковалев С. В., Ветров А. Г.
Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании

Бібліографічний опис:
Филатов Ю. Д., Сидорко В. И., Ковалев С. В., Ветров А. Г. Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании. Сверхтвердые материалы. 2017. № 2. С. 71-77. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000850127

English  Superhard Materials   /     Issue (2017, 2)

Filatov Ju. D., Sidorko V. I., Kovalev S. V., Vetrov A. G.
Formation of flat surfaces of optoelectronic components in diamond polishing

Cite:
Filatov, Ju. D., Sidorko, V. I., Kovalev, S. V., Vetrov, A. G. (2017). Formation of flat surfaces of optoelectronic components in diamond polishing. Superhard Materials, 2, 71-77. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000850127 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна