Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках / Лисовский В., Бут Ж.-П., Ландри K., Дуэ Д., Ренар Г., Касань В. (2005)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000859333
Фізична інженерія поверхні /  Випуск (2005, Т. 3, № 1-2)
Лисовский В., Бут Ж.-П., Ландри K., Дуэ Д., Ренар Г., Касань В.
Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках
Бібліографічний опис:
Лисовский В., Бут Ж.-П., Ландри K., Дуэ Д., Ренар Г., Касань В. Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках. Фізична інженерія поверхні. 2005. Т. 3, № 1-2. С. 70-78. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000859333 |  Physical surface engineering / Issue (2005, 3 (1-2))
Lisovskij V., But Zh.-P., Landri K., Due D., Renar G., Kasan V.
Rf potential determination at the driven electrode in complex technological gas discharge set-up
Cite:
Lisovskij, V., But, Zh.-P., Landri, K., Due, D., Renar, G., Kasan, V. (2005). Rf potential determination at the driven electrode in complex technological gas discharge set-up. Physical surface engineering, 3 (1-2), 70-78. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000859333 [In Russian]. | |
|
|
PDF