Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок / Петухов В. В., Гончаров А. А., Коновалов В. А., Терпий Д. Н., Ступак В. А. (2005)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000859385
Фізична інженерія поверхні /  Випуск (2005, Т. 3, № 3-4)
Петухов В. В., Гончаров А. А., Коновалов В. А., Терпий Д. Н., Ступак В. А.
Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок
Бібліографічний опис:
Петухов В. В., Гончаров А. А., Коновалов В. А., Терпий Д. Н., Ступак В. А. Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок. Фізична інженерія поверхні. 2005. Т. 3, № 3-4. С. 241-244. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000859385 |  Physical surface engineering / Issue (2005, 3 (3-4))
Petukhov V. V., Goncharov A. A., Konovalov V. A., Terpij D. N., Stupak V. A.
Influence of spattering regimes and spattering system geometry on the thickness and composition of prepared films
Cite:
Petukhov, V. V., Goncharov, A. A., Konovalov, V. A., Terpij, D. N., Stupak, V. A. (2005). Influence of spattering regimes and spattering system geometry on the thickness and composition of prepared films. Physical surface engineering, 3 (3-4), 241-244. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000859385 [In Russian]. | |
|
|
PDF