Эволюция структуры пленок Mo, полученных методом магнетронного распылении на a-Si / Севрюкова В. А., Зубарев Е. Н., Кондратенко В. В., Першин Ю. П., Цебенко В. О. (2011)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000889993
Фізична інженерія поверхні /  Випуск (2011, Т. 9, № 2)
Севрюкова В. А., Зубарев Е. Н., Кондратенко В. В., Першин Ю. П., Цебенко В. О.
Эволюция структуры пленок Mo, полученных методом магнетронного распылении на a-Si
Бібліографічний опис:
Севрюкова В. А., Зубарев Е. Н., Кондратенко В. В., Першин Ю. П., Цебенко В. О. Эволюция структуры пленок Mo, полученных методом магнетронного распылении на a-Si. Фізична інженерія поверхні. 2011. Т. 9, № 2. С. 102-114. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000889993 |  Physical surface engineering / Issue (2011, 9 (2))
Sevrjukova V. A., Zubarev E. N., Kondratenko V. V., Pershin Ju. P., Tsebenko V. O.
Evolution of the structure of Mo films obtained by magnetron sputtering on a-Si
Cite:
Sevrjukova, V. A., Zubarev, E. N., Kondratenko, V. V., Pershin, Ju. P., Tsebenko, V. O. (2011). Evolution of the structure of Mo films obtained by magnetron sputtering on a-Si. Physical surface engineering, 9 (2), 102-114. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000889993 [In Russian]. | |
|
|
PDF