Влияние потенциала подложки при осаждении и размерного фактора на структуру, напряженное состояние и физико-механические характеристики многослойных TiN/Ti покрытий / Соболь О. В., Андреев А. А., Горбань В. Ф., Столбовой В. А., Фильчиков В. Е. (2011)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000890123
Фізична інженерія поверхні /  Випуск (2011, Т. 9, № 3)
Соболь О. В., Андреев А. А., Горбань В. Ф., Столбовой В. А., Фильчиков В. Е.
Влияние потенциала подложки при осаждении и размерного фактора на структуру, напряженное состояние и физико-механические характеристики многослойных TiN/Ti покрытий
Бібліографічний опис:
Соболь О. В., Андреев А. А., Горбань В. Ф., Столбовой В. А., Фильчиков В. Е. Влияние потенциала подложки при осаждении и размерного фактора на структуру, напряженное состояние и физико-механические характеристики многослойных TiN/Ti покрытий. Фізична інженерія поверхні. 2011. Т. 9, № 3. С. 221-228. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000890123 |  Physical surface engineering / Issue (2011, 9 (3))
Sobol O. V., Andreev A. A., Gorban V. F., Stolbovoj V. A., Filchikov V. E.
Influence of the substrate potential upon deposition and the size factor on the structure, stress state, and physicomechanical characteristics of multilayer TiN/Ti coatings
Cite:
Sobol, O. V., Andreev, A. A., Gorban, V. F., Stolbovoj, V. A., Filchikov, V. E. (2011). Influence of the substrate potential upon deposition and the size factor on the structure, stress state, and physicomechanical characteristics of multilayer TiN/Ti coatings. Physical surface engineering, 9 (3), 221-228. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000890123 [In Russian]. | |
|
|
PDF