Багатоканальні системи для оптичного емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур / Кравченко С. Ю., Кравченко Ю. С., Осадчук В. С. (2011)
UkrainianEnglish

web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000101927
    Б - 2020  /     Issue (2011, № 1)

Кравченко С. Ю., Кравченко Ю. С., Осадчук В. С.
Багатоканальні системи для оптичного емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур

Бібліографічний опис:
Кравченко С. Ю., Кравченко Ю. С., Осадчук В. С. Багатоканальні системи для оптичного емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур. Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. 2011. № 1. С. 127-135. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000101927

 

Institute of Information Technologies of VNLU

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Ukraine, 03039, Kyiv, Holosiivskyi Ave, 3, room 209