The source of macroparticle-free plasma flows for nanoelectronics / Borisenko, A. G. (2013)
Ukrainian

web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000405026
  Technology and design in electronic equipment   Б - 2020  /     Issue (2013, № 4)

Борисенко А. Г.
Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники

Бібліографічний опис:
Борисенко А. Г.  Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники. Технология и конструирование в электронной аппаратуре. 2013. № 4. С. 37-41. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000405026

English  Technology and design in electronic equipment   /     Issue (2013, 4)

Borisenko A. G.
The source of macroparticle-free plasma flows for nanoelectronics

Cite:
Borisenko, A. G. (2013). The source of macroparticle-free plasma flows for nanoelectronics. Technology and design in electronic equipment, 4, 37-41. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000405026 [In Russian].

 

Institute of Information Technologies of VNLU

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Ukraine, 03039, Kyiv, Holosiivskyi Ave, 3, room 209