Photometric monitoring of etching rate of thin dielectric films / Semenova, S. E., Semenov, E. I. (2006)
Ukrainian

web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000455196
  Technology and design in electronic equipment   Б - 2020  /     Issue (2006, № 1)

Семенова С. Э., Семенов Э. И.
Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок

Бібліографічний опис:
Семенова С. Э., Семенов Э. И. Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок. Технология и конструирование в электронной аппаратуре. 2006. № 1. С. 43-45. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000455196

English  Technology and design in electronic equipment   /     Issue (2006, 1)

Semenova S. E., Semenov E. I.
Photometric monitoring of etching rate of thin dielectric films

Cite:
Semenova, S. E., Semenov, E. I. (2006). Photometric monitoring of etching rate of thin dielectric films. Technology and design in electronic equipment, 1, 43-45. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000455196 [In Russian].

 

Institute of Information Technologies of VNLU

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Ukraine, 03039, Kyiv, Holosiivskyi Ave, 3, room 209