Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Филатов Ю. Д., Сидорко В. И., Прихна Т. А., Филатов А. Ю., Боримский А. И., Ковалев С. В., Куцай А. М., Ветров А. Г., Полторацкий В. Г. (2014)
web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000718426
Tooling materials science Б - 2020 /  Issue (2014, Вып. 17)
Филатов Ю. Д., Сидорко В. И., Прихна Т. А., Филатов А. Ю., Боримский А. И., Ковалев С. В., Куцай А. М., Ветров А. Г., Полторацкий В. Г.
Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния
Бібліографічний опис:
Филатов Ю. Д., Сидорко В. И., Прихна Т. А., Филатов А. Ю., Боримский А. И., Ковалев С. В., Куцай А. М., Ветров А. Г., Полторацкий В. Г. Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния. Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент - техника и технология его изготовления и применения. 2014. Вып. 17. С. 476-482. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000718426 |  Tooling materials science / Issue (2014, 17)
 Transliteration
Filatov Ju. D., Sidorko V. I., Prikhna T. A., Filatov A. Ju., Borimskij A. I., Kovalev S. V., Kutsaj A. M., Vetrov A. G., Poltoratskij V. G.
Polirovanie ploskikh pretsizionnykh poverkhnostej elementov optiko-elektronnoj tekhniki iz monokristallicheskogo karbida kremnija
Cite:
Filatov, Ju. D., Sidorko, V. I., Prikhna, T. A., Filatov, A. Ju., Borimskij, A. I., Kovalev, S. V., Kutsaj, A. M., Vetrov, A. G., Poltoratskij, V. G. (2014). Polirovanie ploskikh pretsizionnykh poverkhnostej elementov optiko-elektronnoj tekhniki iz monokristallicheskogo karbida kremnija. Tooling materials science, 17, 476-482 http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000718426 [In Russian]. | |
|
|
PDF