Estimation of the efficiency of material injection into the reflex discharge by sputtering the cathode material / Kovtun, Yu. V., Skibenko, Ye. I., Skybenko, A. I., Yuferov, V. B. (2012)
Ukrainian

web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000724890
  Ukrainian Journal of Physics      А - 2018  /     Issue (2012, Т. 57, № 9)

Ковтун Ю. В., Скібенко Є. І., Скибенко А. І., Юферов В. Б.
Оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода

Бібліографічний опис:
Ковтун Ю. В., Скібенко Є. І., Скибенко А. І., Юферов В. Б. Оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода. Український фізичний журнал. 2012. Т. 57, № 9. С. 901-908. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000724890

English  Ukrainian Journal of Physics   /     Issue (2012, 57 (9))

Kovtun Yu. V., Skibenko Ye. I., Skybenko A. I., Yuferov V. B.
Estimation of the efficiency of material injection into the reflex discharge by sputtering the cathode material

Cite:
Kovtun, Yu. V., Skibenko, Ye. I., Skybenko, A. I., Yuferov, V. B. (2012). Estimation of the efficiency of material injection into the reflex discharge by sputtering the cathode material. Ukrainian Journal of Physics, 57 (9), 901-908. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000724890 [In Ukrainian].

 

Institute of Information Technologies of VNLU

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Ukraine, 03039, Kyiv, Holosiivskyi Ave, 3, room 209