Ion beam technologies of surface modification. I. Ion cleaning and high dose implantation / Belous, V. A., Lapshin, V. I., Marchenko, I. G., Nekljudov, I. M. (2003)
Ukrainian

web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000849881
  Physical surface engineering   /     Issue (2003, Т. 1, № 1)

Белоус В. А., Лапшин В. И., Марченко И. Г., Неклюдов И. М.
Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и високодозовая имплантация

Бібліографічний опис:
Белоус В. А., Лапшин В. И., Марченко И. Г., Неклюдов И. М. Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и високодозовая имплантация. Фізична інженерія поверхні. 2003. Т. 1, № 1. С. 40-48. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000849881

English  Physical surface engineering   /     Issue (2003, 1 (1))

Belous V. A., Lapshin V. I., Marchenko I. G., Nekljudov I. M.
Ion beam technologies of surface modification. I. Ion cleaning and high dose implantation

Cite:
Belous, V. A., Lapshin, V. I., Marchenko, I. G., Nekljudov, I. M. (2003). Ion beam technologies of surface modification. I. Ion cleaning and high dose implantation. Physical surface engineering, 1 (1), 40-48. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000849881 [In Russian].

 

Institute of Information Technologies of VNLU

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Ukraine, 03039, Kyiv, Holosiivskyi Ave, 3, room 209