Dissociative mode in low-pressure RF discharge / Lisovskij, V. A. (2006)
Ukrainian

web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000855345
  Physical surface engineering   /     Issue (2006, Т. 4, № 3-4)

Лисовский В. А.
Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления

Бібліографічний опис:
Лисовский В. А.  Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления. Фізична інженерія поверхні. 2006. Т. 4, № 3-4. С. 143-168. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000855345

English  Physical surface engineering   /     Issue (2006, 4 (3-4))

Lisovskij V. A.
Dissociative mode in low-pressure RF discharge

Cite:
Lisovskij, V. A. (2006). Dissociative mode in low-pressure RF discharge. Physical surface engineering, 4 (3-4), 143-168. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000855345 [In Russian].

 

Institute of Information Technologies of VNLU

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Ukraine, 03039, Kyiv, Holosiivskyi Ave, 3, room 209