Simulation study on airflow field uniformity of HFCVD deposition system by filament spacing / Deng, F., Hao, C., Guo, Zh., Wang, Sh., Bo, X., Lei, Q. (2021)
web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001235610
Superhard Materials   А - 2019 /  Issue (2021, № 2)
Deng F., Hao C., Guo Zh., Wang Sh., Bo X., Lei Q.
Моделювання дослідження однорідності поля повітряного потоку системи осадження HFCVD з урахуванням розстановки ниток розжарення
Бібліографічний опис:
Deng F., Hao C., Guo Zh., Wang Sh., Bo X., Lei Q. Моделювання дослідження однорідності поля повітряного потоку системи осадження HFCVD з урахуванням розстановки ниток розжарення. Надтверді матеріали. 2021. № 2. С. 55-71. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001235610 |  Superhard Materials / Issue (2021, 2)
Deng F., Hao C., Guo Zh., Wang Sh., Bo X., Lei Q.
Simulation study on airflow field uniformity of HFCVD deposition system by filament spacing
Cite:
Deng, F., Hao, C., Guo, Zh., Wang, Sh., Bo, X., Lei, Q. (2021). Simulation study on airflow field uniformity of HFCVD deposition system by filament spacing. Superhard Materials, 2, 55-71. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001235610 [In Ukrainian]. | |
|
|
PDF