Автоматизація вимірювань швидкості хімічного травлення тонких плівок / Іваницький В. П., Рубіш В. М., Тарнай А. А., Чичура І. І., Рубіш В. В., Далекорей А. В., Мешко Р. О., Рябощук М. М., Цигика В. В. (2024)
web address of the page http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001531563
Data recording, storage & processing Б - 2020 /  Issue (2024, Т. 26, № 2)
Іваницький В. П., Рубіш В. М., Тарнай А. А., Чичура І. І., Рубіш В. В., Далекорей А. В., Мешко Р. О., Рябощук М. М., Цигика В. В.
Автоматизація вимірювань швидкості хімічного травлення тонких плівок
Бібліографічний опис:
Іваницький В. П., Рубіш В. М., Тарнай А. А., Чичура І. І., Рубіш В. В., Далекорей А. В., Мешко Р. О., Рябощук М. М., Цигика В. В. Автоматизація вимірювань швидкості хімічного травлення тонких плівок. Реєстрація, зберігання і обробка даних. 2024. Т. 26, № 2. С. 81–91. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001531563 | |
|
|
PDF