Дефекты в Si:N, обработанном при высоких температурах и давлениях, проявляющиеся в результате травления в дейтериевой плазме / Misiuk A., Barcz A., Ulyashin A., Prujszczyk M., Bak-Misiuk J., Formanek P. (2010)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000118414
Физика и техника высоких давлений В - 2015 /  Випуск (2010, Т. 20, № 4)
Misiuk A., Barcz A., Ulyashin A., Prujszczyk M., Bak-Misiuk J., Formanek P.
Дефекты в Si:N, обработанном при высоких температурах и давлениях, проявляющиеся в результате травления в дейтериевой плазме
Бібліографічний опис:
Misiuk A., Barcz A., Ulyashin A., Prujszczyk M., Bak-Misiuk J., Formanek P. Дефекты в Si:N, обработанном при высоких температурах и давлениях, проявляющиеся в результате травления в дейтериевой плазме. Физика и техника высоких давлений. 2010. Т. 20, № 4. С. 53-59. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000118414 |  High Pressure Physics and Engineering / Issue (2010, 20 (4))
Misiuk A., Barcz A., Ulyashin A., Prujszczyk M., Bak-Misiuk J., Formanek P.
Defekty v Si:N, obrabotannom pry vysokykh temperaturakh y davlenyiakh, proiavliaiushchyesia v rezultate travlenyia v deiteryevoi plazme
Cite:
Misiuk, A., Barcz, A., Ulyashin, A., Prujszczyk, M., Bak-Misiuk, J., Formanek, P. (2010). Defekty v Si:N, obrabotannom pry vysokykh temperaturakh y davlenyiakh, proiavliaiushchyesia v rezultate travlenyia v deiteryevoi plazme. High Pressure Physics and Engineering, 20 (4), 53-59. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000118414 [In Russian]. | |
|
|
PDF