інтернет-адреса сторінки:
http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000352573
Semiconductor physics, quantum electronics & optoelectronics А - 2019 /
Випуск (2014, Vol. 17, № 1)
Gorbov I. V., Kryuchyn A. A., Grytsenko K. P., Manko D. Yu., Borodin Yu. O.
High-density data recording via laser thermo-lithography and ion-beam etching
Cite:
Gorbov, I. V., Kryuchyn, A. A., Grytsenko, K. P., Manko, D. Yu., Borodin, Yu. O. (2014). High-density data recording via laser thermo-lithography and ion-beam etching. Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics , 17 (1), 52-55. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000352573