Вміст легувальної і фонової домішок в монокристалах Si, одержаних методом електронно-променевої безтигельної зонної плавки / Асніс Ю. А., Баранський П. І., Бабич В. М., Піскун Н. В., Статкевич І. І. (2011)
Ukrainian

English  Optoelectronics and Semiconductor Technique   /     Issue (2011, 46)

Asnis Yu. A., Baranskyi P. I., Babych V. M., Piskun N. V., Statkevych I. I.
Contents of doping and background impurities in Si single crystals, obtained by czucibleless electron-beam zone melting


Cite:
Asnis, Yu. A., Baranskyi, P. I., Babych, V. M., Piskun, N. V., Statkevych, I. I. (2011). Contents of doping and background impurities in Si single crystals, obtained by czucibleless electron-beam zone melting. Optoelectronics and Semiconductor Technique, 46, 57-61. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000363684 [In Ukrainian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ


+38 (044) 525-36-24
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна