Получение двухсторонних высоковольтных эпитаксиальных кремниевых p—i—n-структур методом ЖФЭ / Вакив Н. М., Круковский С. И., Тимчишин В. Р., Васькив А. П. (2013)
Ukrainian

English  Technology and design in electronic equipment   /     Issue (2013, 6)

Vakiv N. M., Krukovskij S. I., Timchishin V. R., Vaskiv A. P.
Obtaining of bilateral high voltage epitaxial p—i—n Si structures by LPE method


Cite:
Vakiv, N. M., Krukovskij, S. I., Timchishin, V. R., Vaskiv, A. P. (2013). Obtaining of bilateral high voltage epitaxial p—i—n Si structures by LPE method. Technology and design in electronic equipment, 6, 41-45. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000405174 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ


+38 (044) 525-36-24
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна