Шероховатость полированных поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических материалов / Филатов А. Ю., Сидорко В. И., Ковалев С. В., Филатов Ю. Д., Ветров А. Г. (2016)
Ukrainian

English  Superhard Materials   /     Issue (2016, 3)

Filatov A. Ju., Sidorko V. I., Kovalev S. V., Filatov Ju. D., Vetrov A. G.
Polished surface roughness of optoelectronic components made of monocrystalline materials


Cite:
Filatov, A. Ju., Sidorko, V. I., Kovalev, S. V., Filatov, Ju. D., Vetrov, A. G. (2016). Polished surface roughness of optoelectronic components made of monocrystalline materials. Superhard Materials, 3, 63-76. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000692780 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ


+38 (044) 525-36-24
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна