Формування зносостійких покриттів на кремнієвих зондах для атомносилової мікроскопії термовакуумним випаровуванням / Антонюк В. С., Білокінь С. О., Бондаренко М. О., Бондаренко Ю. Ю., Коваленко Ю. І. (2015)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000694089
  Сверхтвердые материалы      А - 2019  /     Випуск (2015, № 2)

Антонюк В. С., Білокінь С. О., Бондаренко М. О., Бондаренко Ю. Ю., Коваленко Ю. І.
Формування зносостійких покриттів на кремнієвих зондах для атомносилової мікроскопії термовакуумним випаровуванням

Бібліографічний опис:
Антонюк В. С., Білокінь С. О., Бондаренко М. О., Бондаренко Ю. Ю., Коваленко Ю. І. Формування зносостійких покриттів на кремнієвих зондах для атомносилової мікроскопії термовакуумним випаровуванням. Сверхтвердые материалы. 2015. № 2. С. 60-69. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000694089

English  Superhard Materials   /     Issue (2015, 2)

Antoniuk V. S., Bilokin S. O., Bondarenko M. O., Bondarenko Yu. Yu., Kovalenko Yu. I.
Formation of wear-resistant coatings on silicon probes for atomic force microscopy by thermal vacuum evaporation

Cite:
Antoniuk, V. S., Bilokin, S. O., Bondarenko, M. O., Bondarenko, Yu. Yu., Kovalenko, Yu. I. (2015). Formation of wear-resistant coatings on silicon probes for atomic force microscopy by thermal vacuum evaporation. Superhard Materials, 2, 60-69. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000694089 [In Ukrainian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна