Вплив потоку азоту на властивості тонких аморфних Si–C–N-плівок, отриманих магнетронним розпиленням / Козак А. О., Іващенко В. І., Порада О. К., Іващенко Л. А., Синельниченко О. К., Дуб С. М., Литвин О. С., Тимофєєва І. І., Толмачева Г. М. (2015)
Ukrainian

English  Superhard Materials   /     Issue (2015, 5)

Kozak A. O., Ivashchenko V. I., Porada O. K., Ivashchenko L. A., Synelnychenko O. K., Dub S. M., Lytvyn O. S., Tymofieieva I. I., Tolmacheva H. M.
Effect of the nitrogen flow on the properties of Si–C–N amorphous thin films produced by magnetron sputtering


Cite:
Kozak, A. O., Ivashchenko, V. I., Porada, O. K., Ivashchenko, L. A., Synelnychenko, O. K., Dub, S. M., Lytvyn, O. S., Tymofieieva, I. I., Tolmacheva, H. M. (2015). Effect of the nitrogen flow on the properties of Si–C–N amorphous thin films produced by magnetron sputtering. Superhard Materials, 5, 12-24. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000694123 [In Ukrainian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ


+38 (044) 525-36-24
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна