Вплив потоку азоту на властивості тонких аморфних Si–C–N-плівок, отриманих магнетронним розпиленням / Козак А. О., Іващенко В. І., Порада О. К., Іващенко Л. А., Синельниченко О. К., Дуб С. М., Литвин О. С., Тимофєєва І. І., Толмачева Г. М. (2015)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000694123
Сверхтвердые материалы   А - 2019 /  Випуск (2015, № 5)
Козак А. О., Іващенко В. І., Порада О. К., Іващенко Л. А., Синельниченко О. К., Дуб С. М., Литвин О. С., Тимофєєва І. І., Толмачева Г. М.
Вплив потоку азоту на властивості тонких аморфних Si–C–N-плівок, отриманих магнетронним розпиленням
Бібліографічний опис:
Козак А. О., Іващенко В. І., Порада О. К., Іващенко Л. А., Синельниченко О. К., Дуб С. М., Литвин О. С., Тимофєєва І. І., Толмачева Г. М. Вплив потоку азоту на властивості тонких аморфних Si–C–N-плівок, отриманих магнетронним розпиленням. Сверхтвердые материалы. 2015. № 5. С. 12-24. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000694123 |  Superhard Materials / Issue (2015, 5)
Kozak A. O., Ivashchenko V. I., Porada O. K., Ivashchenko L. A., Synelnychenko O. K., Dub S. M., Lytvyn O. S., Tymofieieva I. I., Tolmacheva H. M.
Effect of the nitrogen flow on the properties of Si–C–N amorphous thin films produced by magnetron sputtering
Cite:
Kozak, A. O., Ivashchenko, V. I., Porada, O. K., Ivashchenko, L. A., Synelnychenko, O. K., Dub, S. M., Lytvyn, O. S., Tymofieieva, I. I., Tolmacheva, H. M. (2015). Effect of the nitrogen flow on the properties of Si–C–N amorphous thin films produced by magnetron sputtering. Superhard Materials, 5, 12-24. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000694123 [In Ukrainian]. | |
|
|
PDF