Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного разпыливания / Першин Ю. П., Девизенко А. Ю., Мамон В. В., Чумак В. С., Кондратенко В. В. (2016)
Ukrainian

English  Journal of Surface Physics and Engineering   /     Issue (2016, 1 (1))

Pershin Ju. P., Devizenko A. Ju., Mamon V. V., Chumak V. S., Kondratenko V. V.
Structure, phase composition and growth model of amorphous W/Si multilayer X-ray mirrors deposited by magnetron sputtering


Cite:
Pershin, Ju. P., Devizenko, A. Ju., Mamon, V. V., Chumak, V. S., Kondratenko, V. V. (2016). Structure, phase composition and growth model of amorphous W/Si multilayer X-ray mirrors deposited by magnetron sputtering. Journal of Surface Physics and Engineering, 1 (1), 27-41. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000827880 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ


+38 (044) 525-36-24
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна