Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій / Азарєнков М. О., Дудін С. В., Зиков О. В., Фаренік В. І., Яковін С. Д. (2017)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000832349
Журнал фізики та інженерії поверхні /  Випуск (2017, Т. 2, № 2-3)
Азарєнков М. О., Дудін С. В., Зиков О. В., Фаренік В. І., Яковін С. Д.
Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій
Бібліографічний опис:
Азарєнков М. О., Дудін С. В., Зиков О. В., Фаренік В. І., Яковін С. Д. Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій. Журнал фізики та інженерії поверхні. 2017. Т. 2, № 2-3. С. 119-142. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000832349 |  Journal of Surface Physics and Engineering / Issue (2017, 2 (2-3))
Azarienkov M. O., Dudin S. V., Zykov O. V., Farenik V. I., Yakovin S. D.
Ion-plasma systems with combined electrical and magnetic fields for micro- and nanotechnologies
Cite:
Azarienkov, M. O., Dudin, S. V., Zykov, O. V., Farenik, V. I., Yakovin, S. D. (2017). Ion-plasma systems with combined electrical and magnetic fields for micro- and nanotechnologies. Journal of Surface Physics and Engineering, 2 (2-3), 119-142. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000832349 [In Ukrainian]. | |
|
|
PDF