Реактивный ионно-лучевой синтез тонких пленок непосредственно из пучков ионов / Валиев К. А., Маишев Ю. П., Шевчук С. Л. (2003)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000849878
  Фізична інженерія поверхні   /     Випуск (2003, Т. 1, № 1)

Валиев К. А., Маишев Ю. П., Шевчук С. Л.
Реактивный ионно-лучевой синтез тонких пленок непосредственно из пучков ионов

Бібліографічний опис:
Валиев К. А., Маишев Ю. П., Шевчук С. Л. Реактивный ионно-лучевой синтез тонких пленок непосредственно из пучков ионов. Фізична інженерія поверхні. 2003. Т. 1, № 1. С. 27-33. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000849878

English  Physical surface engineering   /     Issue (2003, 1 (1))

Valiev K. A., Maishev Ju. P., Shevchuk S. L.
Reactive ion-beam synthesis of thin films directly from ion biam

Cite:
Valiev, K. A., Maishev, Ju. P., Shevchuk, S. L. (2003). Reactive ion-beam synthesis of thin films directly from ion biam. Physical surface engineering, 1 (1), 27-33. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000849878 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна