Сопоставление характеристик вакуумно-дуговых наноструктурных TiN покрытий, осаждаемых при подаче на подложку высоковольтных импульсов / Шулаев В. М., Андреев А. А., Горбань В. Ф., Столбовой В. А. (2007)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000858413
Фізична інженерія поверхні /  Випуск (2007, Т. 5, № 1-2)
Шулаев В. М., Андреев А. А., Горбань В. Ф., Столбовой В. А.
Сопоставление характеристик вакуумно-дуговых наноструктурных TiN покрытий, осаждаемых при подаче на подложку высоковольтных импульсов
Бібліографічний опис:
Шулаев В. М., Андреев А. А., Горбань В. Ф., Столбовой В. А. Сопоставление характеристик вакуумно-дуговых наноструктурных TiN покрытий, осаждаемых при подаче на подложку высоковольтных импульсов. Фізична інженерія поверхні. 2007. Т. 5, № 1-2. С. 94-97. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000858413 |  Physical surface engineering / Issue (2007, 5 (1-2))
Shulaev V. M., Andreev A. A., Gorban V. F., Stolbovoj V. A.
Comparison of characteristics of vacuum-arc nano-structure TIN coatings deposited under hv pulse substrate bias
Cite:
Shulaev, V. M., Andreev, A. A., Gorban, V. F., Stolbovoj, V. A. (2007). Comparison of characteristics of vacuum-arc nano-structure TIN coatings deposited under hv pulse substrate bias. Physical surface engineering, 5 (1-2), 94-97. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000858413 [In Russian]. | |
|
|
PDF