Установка для осаждения материалов из газовой фазы / Корж А. Ф., Лонин Ю. Ф., Пилипец Ю. О., Хованский Н. А., Шеремет В. И., Широков Б. М. (2007)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000858414
Фізична інженерія поверхні /  Випуск (2007, Т. 5, № 1-2)
Корж А. Ф., Лонин Ю. Ф., Пилипец Ю. О., Хованский Н. А., Шеремет В. И., Широков Б. М.
Установка для осаждения материалов из газовой фазы
Бібліографічний опис:
Корж А. Ф., Лонин Ю. Ф., Пилипец Ю. О., Хованский Н. А., Шеремет В. И., Широков Б. М. Установка для осаждения материалов из газовой фазы. Фізична інженерія поверхні. 2007. Т. 5, № 1-2. С. 98-100. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000858414 |  Physical surface engineering / Issue (2007, 5 (1-2))
Korzh A. F., Lonin Ju. F., Pilipets Ju. O., Khovanskij N. A., Sheremet V. I., Shirokov B. M.
Installation for gas-phase deposition of materials
Cite:
Korzh, A. F., Lonin, Ju. F., Pilipets, Ju. O., Khovanskij, N. A., Sheremet, V. I., Shirokov, B. M. (2007). Installation for gas-phase deposition of materials. Physical surface engineering, 5 (1-2), 98-100. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000858414 [In Russian]. | |
|
|
PDF