Процесс формовки пластин поликристаллического кремния из порошкового сырья и анализ примесного состава их поверхности / Алиев Р., Олимов Л., Мухтаров Э., Алиева Ж. (2011)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000889687
  Фізична інженерія поверхні   /     Випуск (2011, Т. 9, № 1)

Алиев Р., Олимов Л., Мухтаров Э., Алиева Ж.
Процесс формовки пластин поликристаллического кремния из порошкового сырья и анализ примесного состава их поверхности

Бібліографічний опис:
Алиев Р., Олимов Л., Мухтаров Э., Алиева Ж. Процесс формовки пластин поликристаллического кремния из порошкового сырья и анализ примесного состава их поверхности. Фізична інженерія поверхні. 2011. Т. 9, № 1. С. 55-59. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000889687

English  Physical surface engineering   /     Issue (2011, 9 (1))

Aliev R., Olimov L., Mukhtarov E., Alieva Zh.
The process of forming the polycrystalline silicon wafer from the powder raw material and analyzing the impurity composition of their surface

Cite:
Aliev, R., Olimov, L., Mukhtarov, E., Alieva, Zh. (2011). The process of forming the polycrystalline silicon wafer from the powder raw material and analyzing the impurity composition of their surface. Physical surface engineering, 9 (1), 55-59. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000889687 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна