Влияние распределения рассеяний выбитых атомов в каскаде столкновений на формирование рельефа при облучении аморфной мишени Si ионами Ar c энергией 1 кэВ / Губарев А. А. (2013)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000927290
  Фізична інженерія поверхні   /     Випуск (2013, Т. 11, № 1)

Губарев А. А.
Влияние распределения рассеяний выбитых атомов в каскаде столкновений на формирование рельефа при облучении аморфной мишени Si ионами Ar c энергией 1 кэВ

Бібліографічний опис:
Губарев А. А.  Влияние распределения рассеяний выбитых атомов в каскаде столкновений на формирование рельефа при облучении аморфной мишени Si ионами Ar c энергией 1 кэВ. Фізична інженерія поверхні. 2013. Т. 11, № 1. С. 46-62. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000927290

English  Physical surface engineering   /     Issue (2013, 11 (1))

Gubarev A. A.
Influence of the distribution of scatters of knocked-out atoms in a cascade of collisions on the formation of a relief upon irradiation of an amorphous target Si with 1-keV Ar ions

Cite:
Gubarev, A. A. (2013). Influence of the distribution of scatters of knocked-out atoms in a cascade of collisions on the formation of a relief upon irradiation of an amorphous target Si with 1-keV Ar ions. Physical surface engineering, 11 (1), 46-62. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000927290 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна