Иссдедование процессов формирования TiSiN покрытий путём распыления мишений из Ti и Si ионами, генерируемыми источником газовой плазмы / Белоус В. А., Лунёв В. М., Носов Г. И., Куприн А. С., Толмачёва Г. Н., Колодий И. В. (2013)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000929036
Фізична інженерія поверхні /  Випуск (2013, Т. 11, № 4)
Белоус В. А., Лунёв В. М., Носов Г. И., Куприн А. С., Толмачёва Г. Н., Колодий И. В.
Иссдедование процессов формирования TiSiN покрытий путём распыления мишений из Ti и Si ионами, генерируемыми источником газовой плазмы
Бібліографічний опис:
Белоус В. А., Лунёв В. М., Носов Г. И., Куприн А. С., Толмачёва Г. Н., Колодий И. В. Иссдедование процессов формирования TiSiN покрытий путём распыления мишений из Ti и Si ионами, генерируемыми источником газовой плазмы. Фізична інженерія поверхні. 2013. Т. 11, № 4. С. 412-419. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000929036 |  Physical surface engineering / Issue (2013, 11 (4))
Belous V. A., Lunjov V. M., Nosov G. I., Kuprin A. S., Tolmachjova G. N., Kolodij I. V.
Isdesending processes for the formation of TiSiN coatings by spraying nitrogen from Ti and Si ions generated by a gas plasma source
Cite:
Belous, V. A., Lunjov, V. M., Nosov, G. I., Kuprin, A. S., Tolmachjova, G. N., Kolodij, I. V. (2013). Isdesending processes for the formation of TiSiN coatings by spraying nitrogen from Ti and Si ions generated by a gas plasma source. Physical surface engineering, 11 (4), 412-419. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000929036 [In Russian]. | |
|
|
PDF