Шероховатость поверхностей оптоэлектронных элементов при механическом полировании / Филатов Ю. Д. (2018)
Ukrainian

English  Superhard Materials   /     Issue (2018, 1)

Filatov Ju. D.
Surface roughness of optoelectronic components in mechanical polishing


Cite:
Filatov, Ju. D. (2018). Surface roughness of optoelectronic components in mechanical polishing. Superhard Materials, 1, 68-76. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000940147 [In Russian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ


+38 (044) 525-36-24
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна