Полірування прецизійних поверхонь елементів оптоелектронної техніки зі скла, ситалів та оптичних і напівпровідникових кристалів. Огляд / Філатов Ю. Д. (2020)
Ukrainian

English  Superhard Materials   /     Issue (2020, 1)

Filatov Yu. D.
Polishing of precision surfaces of optoelectronic technology elements from glass, sitals, optical and semiconductor crystals. Review


Cite:
Filatov, Yu. D. (2020). Polishing of precision surfaces of optoelectronic technology elements from glass, sitals, optical and semiconductor crystals. Review. Superhard Materials, 1, 73-98. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001132111 [In Ukrainian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ


+38 (044) 525-36-24
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна