Influence of gettering on aluminum ohmic contact formation / Litvinenko V. N., Baganov Ye. A., Vikulin I. M., Gorbachev V. E. (2020)
UkrainianEnglish

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001194825
  Технология и конструирование в электронной аппаратуре   Б - 2020  /     Випуск (2020, № 1-2)

Litvinenko V. N., Baganov Ye. A., Vikulin I. M., Gorbachev V. E.
Influence of gettering on aluminum ohmic contact formation

Cite:
Litvinenko, V. N., Baganov, Ye. A., Vikulin, I. M., Gorbachev, V. E. (2020). Influence of gettering on aluminum ohmic contact formation. Technology and design in electronic equipment, 1-2, 45-50. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001194825

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна