Інтерференційна фотолітографія на основі ефекту фототравлення в тонких шарах халькогенідних стекол / Данько В. А., Індутний І. З., Минько В. І., Шепелявий П. Є., Литвин О. С., Луканюк М. В. (2012)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001287277
Оптоэлектроника и полупроводниковая техника Б - 2020 /  Випуск (2012, Вып. 47)
Данько В. А., Індутний І. З., Минько В. І., Шепелявий П. Є., Литвин О. С., Луканюк М. В.
Інтерференційна фотолітографія на основі ефекту фототравлення в тонких шарах халькогенідних стекол
Бібліографічний опис:
Данько В. А., Індутний І. З., Минько В. І., Шепелявий П. Є., Литвин О. С., Луканюк М. В. Інтерференційна фотолітографія на основі ефекту фототравлення в тонких шарах халькогенідних стекол. Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. 2012. Вып. 47. С. 51-58. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001287277 |  Optoelectronics and Semiconductor Technique / Issue (2012, 47)
Danko V. A., Indutnyi I. Z., Mynko V. I., Shepeliavyi P. Ye., Lytvyn O. S., Lukaniuk M. V.
Photoinduced etching of thin films of chalcogenide glasses
Cite:
Danko, V. A., Indutnyi, I. Z., Mynko, V. I., Shepeliavyi, P. Ye., Lytvyn, O. S., Lukaniuk, M. V. (2012). Photoinduced etching of thin films of chalcogenide glasses. Optoelectronics and Semiconductor Technique, 47, 51-58. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001287277 [In Ukrainian]. | |
|
|
PDF