Проблеми хіміко-динамічного полірування в технології кремнієвих p-i-n фотодіодів / Кукурудзяк М. С. (2023)
Ukrainian

інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001393501
  Хімія, фізика та технологія поверхні    А - 2022  /     Випуск (2023, Т. 14, № 1)

Кукурудзяк М. С.
Проблеми хіміко-динамічного полірування в технології кремнієвих p-i-n фотодіодів

Бібліографічний опис:
Кукурудзяк М. С.  Проблеми хіміко-динамічного полірування в технології кремнієвих p-i-n фотодіодів. Хімія, фізика та технологія поверхні. 2023. Т. 14, № 1. С. 42-52. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001393501

English  Chemistry, physics and technology of surface   /     Issue (2023, 14 (1))

Kukurudziak M. S.
Problems of chemical-dynamic polishing in the technology of silicon p-i-n photodiodes

Cite:
Kukurudziak, M. S. (2023). Problems of chemical-dynamic polishing in the technology of silicon p-i-n photodiodes. Chemistry, physics and technology of surface, 14 (1), 42-52. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001393501 [In Ukrainian].

 

Інститут інформаційних технологій НБУВ

+38 (044) 525-36-24
libnas@nbuv.gov.ua
Голосіївський просп., 3, к. 209
м. Київ, 03039, Україна