Протонна літографія: світовий досвід та перспективи в Україні / Положій Г. Є., Пономарьов О. Г., Колінько С. В., Ребров В. А., Шуліпа Р. О., Калінкевич О. М., Калінкевич О. В. (2023)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001397236
Ядерна фізика та енергетика    А - 2018 /  Випуск (2023, Т. 24, № 1)
Положій Г. Є., Пономарьов О. Г., Колінько С. В., Ребров В. А., Шуліпа Р. О., Калінкевич О. М., Калінкевич О. В.
Протонна літографія: світовий досвід та перспективи в Україні
Бібліографічний опис:
Положій Г. Є., Пономарьов О. Г., Колінько С. В., Ребров В. А., Шуліпа Р. О., Калінкевич О. М., Калінкевич О. В. Протонна літографія: світовий досвід та перспективи в Україні. Ядерна фізика та енергетика. 2023. Т. 24, № 1. С. 72-80. URL: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001397236 |  Nuclear physics and atomic energy / Issue (2023, 24 (1))
Polozhii H. Ye., Ponomarov O. H., Kolinko S. V., Rebrov V. A., Shulipa R. O., Kalinkevych O. M., Kalinkevych O. V.
Proton beam writing: world experience and prospectives in Ukraine
Cite:
Polozhii, H. Ye., Ponomarov, O. H., Kolinko, S. V., Rebrov, V. A., Shulipa, R. O., Kalinkevych, O. M., Kalinkevych, O. V. (2023). Proton beam writing: world experience and prospectives in Ukraine. Nuclear physics and atomic energy, 24 (1), 72-80. http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001397236 [In Ukrainian]. | |
|
|
PDF