Formation and morphology of Cu nanofilms using DC and RF modes of a magnetron sputtering device / Dovranov K. T., Abrayeva S. T., Yorqulov R. M., Mustafoeva N. M., Buzrukov T. O., Jurayeva Sh. A., Aminov A. A. (2026)
інтернет-адреса сторінки: http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001678975
Український фізичний журнал   А - 2018 /  Випуск (2026, Т. 71, № 1)
Dovranov K. T., Abrayeva S. T., Yorqulov R. M., Mustafoeva N. M., Buzrukov T. O., Jurayeva Sh. A., Aminov A. A.
Formation and morphology of Cu nanofilms using DC and RF modes of a magnetron sputtering device
Cite:
Dovranov, K. T., Abrayeva, S. T., Yorqulov, R. M., Mustafoeva, N. M., Buzrukov, T. O., Jurayeva, Sh. A., Aminov, A. A. (2026). Ukrainian Journal of Physics, 71 (1), 66-72 http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001678975 | |
|
|
PDF